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苏州佐藤精密仪器有限公司
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第五代飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 是终极的集成化成像分析系统，分辨率提升 20%，进一步增加应用范围，更加适用于对电子束敏感的样品。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。
研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。
能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom 的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。
Element Identification (EID) 软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
Phenom Pro
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Phenom ProX
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Phenom XL
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| 光学放大 |
20 - 135 X |
20 - 135 X |
3 - 16 X |
| 电子光学放大 |
80 - 150,000 X |
80 - 150,000 X |
80 - 100,000 X |
| 分辨率 |
优于 8 nm |
优于 8 nm |
优于 14 nm |
| 数字放大 |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
Max. 12 X |
| 光学导航相机 |
彩色 |
彩色 |
彩色 |
| 加速电压 |
5 kV - 15 kV 连续可调 |
5 kV - 15 kV 连续可调 |
5 kV - 20 kV 连续可调 |
| 真空模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 |
高分辨率模式 降低荷电效应模式 高真空模式 |
| 探测器 |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |
背散射电子探测器 二次电子探测器 (选配) |